使用Ashing設(shè)備
?Ashing設(shè)備用于在半導(dǎo)體制造過程中去除離子植入物，刪除諸如固定的聚合物（例如抗抑制劑），并在制造CCD時卸下顏色過濾器。
有兩種類型的肌肉方法：使用等離子體灰燼的Plasma Ashing和臭氧Ashing，它們通過與碳?xì)浠衔锓磻?yīng)，使用臭氧灰燼。主要方法是血漿，它通過使用氧作為等離子體來增加反應(yīng)性，以增加肌肉效應(yīng)。
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