呼吸器原理
血漿是一種離子氣體，具有高反應性。當氧氣變成血漿時，它會與碳和氫反應非常好，因此，如果將碳氫化合物聚合物（例如塑料）放入氧血漿中，它們將消失。
純碳氫化合物由碳和氫組成，因此在與氧，水和二氧化碳反應后，反應后什么都沒有。對半導體制造的抵抗是由碳氫化合物聚合物制成的，但是它們包含添加劑，溶劑，光敏劑等，因此，當需要這些最佳的等離子體條件時，需要將其匹配。
臭氧不會將氧分子激活為血漿，而是從氧分子中產(chǎn)生高反應性臭氧，并將其引入反應室。目前，通過輻照紫外線，臭氧產(chǎn)生稱為氧自由基的原子氧，它具有更具反應性，并且與抗抗性反應。
氧血漿和氧自由基之間的差異在于，氧血漿是一定百分比的氧原子的陽離子，但是氧自由基是電中性的，因此氧等離子體更具活性。