什么是Ashing設(shè)備
?Ashing設(shè)備是一種卸下半導(dǎo)體制造中使用的抵抗和其他產(chǎn)品的設(shè)備。 ashing意味著將其變成骨灰，并實(shí)際上使用等離子體或臭氧將抗抗藥抗藥變成灰燼并將其除去。
在半導(dǎo)體制造中，抵抗是一種保護(hù)膜，在被應(yīng)用于硅晶片的表面后，只有一個(gè)特定的部分暴露于光敏感的表面以創(chuàng)建精細(xì)的結(jié)構(gòu)。一旦角色結(jié)束，就可以將其刪除。
在半導(dǎo)體制造中，Ashing設(shè)備用于處理硅晶片，使其成為可以運(yùn)輸硅晶片的大型裝置。