DDB-701-MS-10 DMD型曝光裝置“PALET”
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- DDB-701-MS-10 DMD型曝光裝置“PALET”
- NEOARK
- DDB-701-MS-10
- 日本
- 現(xiàn)貨
產(chǎn)品詳細介紹
デスクトップサイズの露光裝置
A3サイズの設置面積
防振臺不要
必要ユーティリティはAC100Vのみ
“デスクトップリソグラフィ”をキーワードに、裝置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を?qū)g現(xiàn)しました(※1)。また獨自のフローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振臺不要?真空吸著用エア源內(nèi)蔵を?qū)g現(xiàn)。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは機と100V電源のみ(※2)です。
機能絞り込みと低価格設定
研究室レベルで導入できる低価格設定
露光領域 ?。?5mm×25mm
最小露光線幅：3μm
「マスクレス露光裝置は便利だが數(shù)千萬円するものだから、導入は諦めよう」
そんな常識を打ち破るべく機能を大膽に絞り込み、各研究室レベルで導入できる低価格を?qū)g現(xiàn)しました。もちろんマスクレス露光裝置が持つ自由度はそのまま活用できますので數(shù)10～數(shù)100μmの微細パターンを求める研究?開発に最適です。
ラインナップ
| 型名 | DDB-701-MS-10 | DDB-701-MS-2 | DDB-701-DL-10 | DDB-701-DL-2 |
|---|---|---|---|---|
| 光源 | 365nm(typ.) LED | |||
| 対物レンズ | 10倍 | 2倍 | 10倍 | 2倍 |
| 最小露光線幅 | 3μm | 15μm | 3μm | 15μm |
| ワークサイズ | 最大□60mm、厚み3mm以下 | |||
| ワンショットあたりの 露光エリア |
約1mm x 0.6mm | 約5mm x 3mm | 約1mm x 0.6mm | 約5mm x 3mm |
| ワンショットあたりの 露光時間 |
約1秒 | 約15秒 | 約1秒 | 約15秒 |
| 露光領域 | 25mm x 25mm | |||
| ステージ | 手動XYZθステージ | 電動XYZθステージ | ||
| 構成 | 裝置本體?ノートPC?ソフトウェア?ステージドライバ(オートステージモデルのみ) | |||
| ユーティリティ | AC100V、消費電力、1.5kW以下 | |||
| 対応ファイルフォーマット | 畫像データ(JPEG / PNG / BITMAP)、パワーポイントデータ、CADデータ(DXF) | |||
| 本體外寸、重量 | 300mm(W) x 450mm(D) x 450mm(H)、約30kg | |||
オプション
周辺オプションを個別に設計することも可能です。ご希望があればお問合せください。