什么是離子注入機(jī)
?離子注入機(jī)是一種將離子化材料注入另一種材料以改變注入材料性質(zhì)的設(shè)備。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體的單晶硅晶片等材料在自然狀態(tài)下是絕緣材料，但通過向其中注入不同物質(zhì)的離子，可以改變其電學(xué)特性。
離子注入設(shè)備主要用于半導(dǎo)體器件制造過程中的雜質(zhì)注入工藝，但也用于半導(dǎo)體以外的材料領(lǐng)域，以改變材料的特性。本文將介紹半導(dǎo)體制造工藝中使用的離子注入設(shè)備。