什么是曝光裝置？
?曝光設(shè)備用于制造半導(dǎo)體和液晶顯示器，通過向基板上照射光線來描繪電路和像素等圖案。
由于使用極強(qiáng)的光線，并且需要在舞臺(tái)上進(jìn)行精確控制，因此產(chǎn)品通常很大，價(jià)格高達(dá)數(shù)億日元。曝光工序是半導(dǎo)體和液晶顯示器制造中非常重要的設(shè)備，因?yàn)樗菦Q定設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)（ CAD數(shù)據(jù)）圖案的工序。各公司開發(fā)了各種曝光方法并將其應(yīng)用于自己的設(shè)備中。