?離子植入器是一種通過將電離材料注入另一種材料來改變植入物質(zhì)的性質(zhì)的設(shè)備。

諸如廣泛用于半導(dǎo)體的單晶硅晶片之類的材料是絕緣材料。通過將不同物質(zhì)的離子植入其中，可以更改其電性能。

離子植入設(shè)備主要用于雜質(zhì)植入過程，制造半導(dǎo)體設(shè)備，也用于改變半導(dǎo)體以外的材料中材料的性質(zhì)。本節(jié)解釋了半導(dǎo)體制造過程中使用的離子植入設(shè)備。