什么是曝光裝置?
?曝光設(shè)備是一種用于制造站點的設(shè)備,例如半導(dǎo)體和液晶顯示器,該設(shè)備用于通過用光照射底物上的電路和像素等圖案,例如電路和像素。
由于使用了極強的光線,并且需要精確的控制,因此許多產(chǎn)品大,耗資約1億日元。曝光過程是一個過程,即使在半導(dǎo)體和液晶顯示器的制造中也確定設(shè)計數(shù)據(jù)模式( CAD數(shù)據(jù)),從而使其成為非常重要的設(shè)備。每個公司都開發(fā)了各種曝光方法,并在設(shè)備中使用。