薩格納克干涉儀振動觀測裝置觀察實例
?
觀察實例
通過激光掃描收集有關(guān)位置、幅度、相位和反射強度的信息。（振幅值是相對值）
根據(jù)采集到的位置、振幅、相位信息顯示振動分布。振動分布也可以通過 2D 和 3D 視頻進(jìn)行檢查。
不同驅(qū)動頻率導(dǎo)致的振動模式變化的可視化 (FBAR)
觀察電極泄漏的表面聲波
通過使用 FFT/IFFT 處理選擇任何部件，您可以僅過濾和分析特定的振動模式。
通過激光掃描進(jìn)行高速數(shù)據(jù)采集
數(shù)據(jù)收集采用使用移動探針激光的掃描方法。將 X 軸方向的數(shù)據(jù)采集間隔設(shè)置為最小值 0.1 μm 不會改變數(shù)據(jù)采集速度。
Y 軸方向的數(shù)據(jù)采集間隔也可設(shè)置為最小 0.1 μm。
