?電子束光刻系統(tǒng)是用于繪制LSI（大規(guī)模集成）電路圖案的設(shè)備。

手機(jī)、電腦等電子設(shè)備中內(nèi)置有被稱為LSI的半導(dǎo)體電子電路部件。

設(shè)計LSI電路后，需要使用電子束將電路圖案印刷到標(biāo)線（相當(dāng)于鹵化銀攝影中的膠片）上。

此時，需要將尺寸和位置誤差保持在2至5nm以內(nèi)。

電子束光刻設(shè)備用于使用電子束以這種精度將電路圖案印刷到掩模版上。