無掩模曝光系統(tǒng)PALET手動載物臺模型DDB-701-MS
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關(guān)于本產(chǎn)品
■讓光刻變得更容易
半導(dǎo)體曾被稱為“工業(yè)之米”。支持半導(dǎo)體工藝的技術(shù)是“光刻”。隨著時間的推移，需要光刻技術(shù)的領(lǐng)域不斷擴大，現(xiàn)在它已成為微加工技術(shù)的代表，廣泛應(yīng)用于MEMS、物理性能研究和生物技術(shù)等領(lǐng)域。 另一方面，不僅是達到幾納米的半導(dǎo)體光刻設(shè)備，即使是曝光亞微米圖案的現(xiàn)有設(shè)備也存在設(shè)備尺寸龐大、設(shè)備價格在數(shù)千萬至數(shù)億日元以及環(huán)境問題等問題?，F(xiàn)實情況是，引進的障礙非常高，例如設(shè)備、輔助設(shè)備以及對用戶的高水平技能要求。對于對微加工感興趣但附近沒有基礎(chǔ)設(shè)施的研究人員和工程師來說，這個障礙足以讓他們放棄開發(fā)主題。 “無掩模光刻系統(tǒng)PALET”具有可在任何地方安裝的尺寸、打破無掩模曝光設(shè)備傳統(tǒng)觀念的價格、以及可在現(xiàn)場創(chuàng)建任何圖案的簡單操作性。從用戶角度消除障礙的產(chǎn)品規(guī)格非常適合需要反復(fù)試驗的研究和原型設(shè)計應(yīng)用。 通過這個無掩模曝光系統(tǒng)PALET，我們希望使光刻技術(shù)變得更容易實現(xiàn)并幫助加速各種研究。■顛覆行業(yè)常識的低價設(shè)定
“無掩模曝光設(shè)備很方便，但要花費數(shù)千萬日元，所以我們還是放棄引入吧?！睘榱舜蚱瞥ＷR，我們大膽縮小了功能范圍，實現(xiàn)了壓倒性的性價比。此外，我們的無掩模曝光設(shè)備實現(xiàn)了前所未有的性價比，其中包括手動載物臺型號。您可以通過減少初始投資來準(zhǔn)備研究環(huán)境。 最大曝光面積25mm，最小曝光線寬3μm，您可以選擇您的研究區(qū)域，我們的高自由度和低安裝成本將有力協(xié)助您的研發(fā)。- ?
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型號
該產(chǎn)品有 1 個型號
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系列
無掩模曝光系統(tǒng)PALET手動載物臺型號DDB-701-MS