光學(xué)外差微振動測量裝置
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光學(xué)外差微振動測量裝置
概述/規(guī)格
一種利用激光多普勒效應(yīng)
測量微小振動的頻率和振幅的裝置。
| 響應(yīng)頻率 | 1~200MHz |
|---|---|
| 最大測量速度 | 5米/秒 |
| 測量光斑 直徑 |
約φ10μm |
特點/應(yīng)用
高剛性外殼即使在桌面上也能精確測量 200MHz 振動
能夠測量垂直（面外）振動和橫向（面內(nèi)）振動
易于操作的顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)和直觀的信號輸出
可通過軟件進行振動分析、動畫等（可選）
MEMS器件、晶體諧振器、SAW器件等的振動分析