薩格納克干涉儀振動(dòng)觀測(cè)裝置 產(chǎn)品特點(diǎn)
? MEMS技術(shù)現(xiàn)在不僅應(yīng)用于半導(dǎo)體等電子工業(yè)，還應(yīng)用于物性研究、生物技術(shù)、器件開(kāi)發(fā)等各個(gè)領(lǐng)域。 支持高達(dá)6GHz的振動(dòng)觀測(cè)，用于5G設(shè)備的振動(dòng)觀測(cè)。 通過(guò)激光掃描收集有關(guān)位置、幅度、相位和反射強(qiáng)度的信息。（振幅值是相對(duì)值） 不同驅(qū)動(dòng)頻率導(dǎo)致的振動(dòng)模式變化的可視化 (FBAR) 觀察電極泄漏的表面聲波 通過(guò)使用 FFT/IFFT 處理選擇任何部件，您可以僅過(guò)濾和分析特定的振動(dòng)模式。 數(shù)據(jù)收集采用使用移動(dòng)探針激光的掃描方法。將 X 軸方向的數(shù)據(jù)采集間隔設(shè)置為最小值 0.1 μm 不會(huì)改變數(shù)據(jù)采集速度。 專門(mén)為此設(shè)備創(chuàng)建的專用觀察軟件不僅包括顯微鏡操作所需的基本控制功能，還包括樣品傾斜校正和焦點(diǎn)校正功能等多種功能。用于驅(qū)動(dòng)樣品上的彈性波的信號(hào)發(fā)生器和鎖定放大器的靈敏度設(shè)置也可以在軟件上操作。 顯示幅度、相位和反射強(qiáng)度的輸入電平。 設(shè)置觀察條件。 對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行確認(rèn)、保存、加載、過(guò)濾等。 配備每次在Y方向上任意數(shù)量的線收集數(shù)據(jù)時(shí)執(zhí)行焦點(diǎn)校正的功能，以防止在長(zhǎng)期數(shù)據(jù)收集過(guò)程中由于溫度變化而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏移。產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品特點(diǎn)
硬件
可視化高頻振動(dòng)分布！
在無(wú)線通信領(lǐng)域，這種MEMS技術(shù)被用來(lái)開(kāi)發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設(shè)備。
薩格納克干涉儀振動(dòng)觀測(cè)設(shè)備可以可視化GHz頻段高頻器件（壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等）的振動(dòng)分布。觀測(cè)頻率最高支持6GHz！可進(jìn)行高頻探測(cè)！
它還兼容高頻探頭的安裝，從而可以驅(qū)動(dòng)器件并觀察晶圓級(jí)的振動(dòng)。
一臺(tái)設(shè)備可用于分析SAW濾波器和BAW濾波器等多種設(shè)備的振動(dòng)分布。
觀察實(shí)例
根據(jù)采集到的位置、振幅、相位信息顯示振動(dòng)分布。振動(dòng)分布也可以通過(guò) 2D 和 3D 視頻進(jìn)行檢查。
通過(guò)激光掃描進(jìn)行高速數(shù)據(jù)采集
Y 軸方向的數(shù)據(jù)采集間隔也可設(shè)置為最小 0.1 μm。
軟件
具有多種功能的專用觀察軟件
還實(shí)現(xiàn)了頻率表設(shè)置功能，以連續(xù)測(cè)量不同驅(qū)動(dòng)頻率下的數(shù)據(jù)。
“監(jiān)控?zé)赡?/font>
“測(cè)量”屏幕
“數(shù)據(jù)查看”屏幕
焦點(diǎn)校正功能（自動(dòng)對(duì)焦）
預(yù)先設(shè)置觀察范圍四邊的 XYZ 坐標(biāo)和焦點(diǎn)校正點(diǎn)。然后，在收集數(shù)據(jù)時(shí)，檢測(cè)焦點(diǎn)校正點(diǎn)處的散焦量，并通過(guò)添加散焦量來(lái)校正焦點(diǎn)方向。?