日本neoark新舟振動(dòng)觀測(cè)裝置MLD-101P
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規(guī)格
規(guī)格
基本規(guī)格
| 產(chǎn)品型號(hào) | MLD-101C （通用型號(hào)，帶選件） |
MLD-101P （晶圓兼容型號(hào)） |
MLD-103 （緊湊型） |
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|---|---|---|---|---|
| 兼容樣品 | 帶 SMA 連接器的設(shè)備 | 晶圓（最大8英寸） | 帶 SMA 連接器的設(shè)備 | |
| 觀察頻率 | 500MHz~3GHz（A型） 3GHz~6GHz（B型） |
500MHz~3GHz（A型） 3GHz~6GHz（B型） |
500MHz 至 3GHz （可根據(jù)要求兼容 6GHz） |
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| 振動(dòng)檢測(cè)方式 | 使用 Sagnac 干涉儀進(jìn)行幅度和相位檢測(cè) | |||
| 觀察方法 | 使用載物臺(tái)控制進(jìn)行激光照射位置掃描觀察 | |||
| 光源/觀察軸 | 半導(dǎo)體激光器（觀察軸：面外方向*面外振動(dòng)檢測(cè)） | |||
| 附加物鏡放大倍率 | ×100（WD12mm、光斑直徑1μm典型值）、×50（WD 3.4mm、光斑直徑5μm典型值） *×5（用于確認(rèn)觀察位置） |
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| 測(cè)繪（電控） | 測(cè)繪位置分辨率：0.1μm，最大測(cè)繪（觀察）范圍：25×25mm | |||
| 調(diào)焦（電控） | 焦點(diǎn)位置分辨率：0.2μm，焦點(diǎn)范圍：±15mm | |||
| 數(shù)據(jù)記錄格式 | 圖像：JPEG，視頻：AVI，幅度/相位信息：CSV | |||
| 設(shè)備配置 | 主體（光學(xué)系統(tǒng)/載物臺(tái)）激光電源?載物臺(tái) 驅(qū)動(dòng)器?變頻單元?鎖相放大器?信號(hào)發(fā)生器（2ch）?PC、顯示?觀察軟件 ? |
主體（光學(xué)系統(tǒng)/載物臺(tái)）激光電源?載物臺(tái) 驅(qū)動(dòng)器?變頻單元?鎖相放大器?信號(hào)發(fā)生器（2ch）?PC、顯示?觀察軟件 ? |
主體（光學(xué)系統(tǒng)/載物臺(tái)） 激光電源 *內(nèi)置載 物臺(tái)驅(qū)動(dòng)器 *內(nèi)置 變頻單元 *內(nèi)置 鎖相放大器 *內(nèi)置 信號(hào)發(fā)生器（2ch） 筆記本電腦 觀察軟件 |
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| 公用事業(yè) | AC100V，功耗1.7kVA以下 | |||
| 外形尺寸 （重量） |
主體 | 600（寬）×600（深）×1350（高）mm （約270kg） |
600（寬）×600（深）×1350（高）mm （約270kg） |
300（寬）×450（深）×450（高）mm （約30kg） |
| 架子 | 600（寬）×630（深）×1600（高）mm （約40kg |
600（寬）×630（深）×1600（高）mm （約40kg） |
無(wú)需機(jī)架 （桌子周圍安裝外部設(shè)備） |
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*產(chǎn)品外觀和規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
*可根據(jù)客戶要求提供額外支持，例如僅提供薩格納克干涉儀或添加真空室。