?MEMS技術(shù)現(xiàn)在不僅應(yīng)用于半導(dǎo)體等電子工業(yè)，還應(yīng)用于物性研究、生物技術(shù)、器件開發(fā)等各個領(lǐng)域。

在無線通信領(lǐng)域，這種MEMS技術(shù)被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設(shè)備。
薩格納克干涉儀振動觀測設(shè)備可以可視化GHz頻段高頻器件（壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等）的振動分布。