可視化高頻振動分布!
?MEMS技術(shù)現(xiàn)在不僅應(yīng)用于半導(dǎo)體等電子工業(yè),還應(yīng)用于物性研究、生物技術(shù)、器件開發(fā)等各個領(lǐng)域。
在無線通信領(lǐng)域,這種MEMS技術(shù)被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設(shè)備。
薩格納克干涉儀振動觀測設(shè)備可以可視化GHz頻段高頻器件(壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等)的振動分布。
?MEMS技術(shù)現(xiàn)在不僅應(yīng)用于半導(dǎo)體等電子工業(yè),還應(yīng)用于物性研究、生物技術(shù)、器件開發(fā)等各個領(lǐng)域。
在無線通信領(lǐng)域,這種MEMS技術(shù)被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設(shè)備。
薩格納克干涉儀振動觀測設(shè)備可以可視化GHz頻段高頻器件(壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等)的振動分布。