振動(dòng)觀測(cè)裝置產(chǎn)品特點(diǎn)
振動(dòng)觀測(cè)裝置產(chǎn)品特點(diǎn)
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可視化高頻振動(dòng)分布！
MEMS技術(shù)現(xiàn)在不僅應(yīng)用于半導(dǎo)體等電子工業(yè)，還應(yīng)用于物性研究、生物技術(shù)、器件開發(fā)等各個(gè)領(lǐng)域。
在無線通信領(lǐng)域，這種MEMS技術(shù)被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設(shè)備。
薩格納克干涉儀振動(dòng)觀測(cè)設(shè)備可以可視化GHz頻段高頻器件（壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等）的振動(dòng)分布。
觀測(cè)頻率最高支持6GHz！可進(jìn)行高頻探測(cè)！
支持高達(dá)6GHz的振動(dòng)觀測(cè)，用于5G設(shè)備的振動(dòng)觀測(cè)。
它還兼容高頻探頭的安裝，從而可以驅(qū)動(dòng)器件并觀察晶圓級(jí)的振動(dòng)。
一臺(tái)設(shè)備可用于分析SAW濾波器和BAW濾波器等多種設(shè)備的振動(dòng)分布。
觀察實(shí)例
通過激光掃描收集有關(guān)位置、幅度、相位和反射強(qiáng)度的信息。（振幅值是相對(duì)值）
根據(jù)采集到的位置、振幅、相位信息顯示振動(dòng)分布。振動(dòng)分布也可以通過 2D 和 3D 視頻進(jìn)行檢查。
不同驅(qū)動(dòng)頻率導(dǎo)致的振動(dòng)模式變化的可視化 (FBAR)
觀察電極泄漏的表面聲波
通過使用 FFT/IFFT 處理選擇任何部件，您可以僅過濾和分析特定的振動(dòng)模式。
通過激光掃描進(jìn)行高速數(shù)據(jù)采集
數(shù)據(jù)收集采用使用移動(dòng)探針激光的掃描方法。將 X 軸方向的數(shù)據(jù)采集間隔設(shè)置為最小值 0.1 μm 不會(huì)改變數(shù)據(jù)采集速度。
Y 軸方向的數(shù)據(jù)采集間隔也可設(shè)置為最小 0.1 μm。