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光學外差微振動測量裝置

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光學外差微振動測量裝置

概述/規(guī)格

一種利用激光多普勒效應
測量微小振動的頻率和振幅的裝置。

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響應頻率 1~200MHz
最大測定速度 5m/秒
測量光斑
直徑
約φ10μm

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