可視化高頻振動(dòng)分布！
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可視化高頻振動(dòng)分布！
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MEMS技術(shù)現(xiàn)在不僅應(yīng)用于半導(dǎo)體等電子工業(yè)，還應(yīng)用于物性研究、生物技術(shù)、器件開發(fā)等各個(gè)領(lǐng)域。
在無線通信領(lǐng)域，這種MEMS技術(shù)被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設(shè)備。
薩格納克干涉儀振動(dòng)觀測設(shè)備可以可視化GHz頻段高頻器件（壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等）的振動(dòng)分布。
觀測頻率最高支持6GHz！可進(jìn)行高頻探測！
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支持高達(dá)6GHz的振動(dòng)觀測，用于5G設(shè)備的振動(dòng)觀測。
它還兼容高頻探頭的安裝，從而可以驅(qū)動(dòng)器件并觀察晶圓級的振動(dòng)。
一臺設(shè)備可用于分析SAW濾波器和BAW濾波器等多種設(shè)備的振動(dòng)分布。
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