?用于缺陷檢查的掃描激光“LaScan”是一種掃描微型激光線(xiàn)的光源，可以立即檢測(cè)大范圍的微小缺陷。可搭載于半導(dǎo)體晶圓、硬盤(pán)基板、DVD光盤(pán)的檢查裝置中。

即時(shí)檢測(cè)大面積劃痕

微米尺寸激光線(xiàn)

高速掃描

超緊湊（W52mm×D56mm×H66mm）

線(xiàn)路尺寸定制

光學(xué)系統(tǒng)

傷口樣本

劃痕檢測(cè)信號(hào)

【主要規(guī)格（暫定值）】