劃痕檢查光源LaScan
?用于缺陷檢查的掃描激光“LaScan”是一種掃描微型激光線(xiàn)的光源，可以立即檢測(cè)大范圍的微小缺陷。可搭載于半導(dǎo)體晶圓、硬盤(pán)基板、DVD光盤(pán)的檢查裝置中。
即時(shí)檢測(cè)大面積劃痕
微米尺寸激光線(xiàn)
高速掃描
超緊湊（W52mm×D56mm×H66mm）
線(xiàn)路尺寸定制
光學(xué)系統(tǒng)
傷口樣本
劃痕檢測(cè)信號(hào)
【主要規(guī)格（暫定值）】
| 激光波長(zhǎng) | 450nm 520nm 650nm等 |
| 激光輸出 | 50mW（最大） |
| 行寬 | 50微米 |
| 線(xiàn)長(zhǎng) | 100微米 |
| 工作距離 | 100毫米 |
| 掃描角度 | ±10度 |
| 掃描頻率 | 60Hz（最大） |